21 | 01 | 2020

Нанотехнологии в электронике

Развитие современной электроники идёт по пути уменьшения размеров устройств. С другой стороны, классические методы производства подходят к своему естественному экономическому и технологическому барьеру, когда размер устройства уменьшается не намного, зато экономические затраты возрастают экспоненциально. Нанотехнология — следующий логический шаг развития электроники и других наукоёмких производств.

 



Герасименко, Николай Николаевич. Кремний - материал наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / Н. Герасименко, Ю. Пархоменко. - Москва : Техносфера, 2007. - 351 с. : (Мир материалов и технологий).

Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.



Драгунов, Валерий Павлович. Основы наноэлектроники : учебное пособие / В. П. Драгунов, И. Г. Неизвестный, В. А. Гридчин. - Москва : Логос, 2006. - 496 с. (Новая университетская библиотека).

Излагаются основные вопросы физики систем пониженной размерности, рассматриваются особенности энергетического спектра и переноса частиц в многослойных структурах с резкими потенциальными границами. Освещаются вопросы энергетического спектра низкоразмерных систем с цилиндрической и сферической симметрией, вопросы влияния электрического поля на энергетический спектр квантовых точек и транспорт частиц в двухбарьерных структурах, дробного квантового эффекта Холла и особенностей поведения электронов в квазидвумерных системах.



Неволин, Владимир Кириллович. Зондовые нанотехнологии в электронике : учеб. пособие для вузов/ В. Неволин. - Изд. 2-е. - Москва : Техносфера, 2006. - 160 с. (Мир электроники).

В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения.



Мартинес-Дуарт, Дж. М. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Дж. М. Мартинес-Дуарт, Р. Дж. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда ; пер. с англ. А. В. Хачояна, под ред. Е. Б. Якимова. - Москва : Техносфера, 2007. - 368 с.

В настоящее время издается много книг по новейшим разделам нанонауки, но почти отсутствуют учебники и пособия для студентов-старшекурсников и аспирантов, связанных с нанонаукой. Предлагаемая книга восполняет этот пробел, так как представляет собой ценное учебное и справочное пособие для студентов, специализирующихся в физике, материаловедении и некоторых других технических дисциплинах. Кроме того, книга может представить интерес для ученых и инженеров-практиков, желающих глубже понять принципы нанонауки и нанотехнологии.

 
 


 

Щука, Александр Александрович. Наноэлектроника : учебное пособие для студентов высших учебных заведений / А. А. Щука. - Москва : Физматкнига, 2007. - 464 с. (Электроника / МФТИ).

Учебное пособие содержит лекционный материал по пяти дисциплинам направления подготовки "Нанотехнология в электронике": физико-химия наноструктурных материалов, материалы и методы нанотехнологий, методы диагностики и анализа микро- и наносистем, элементы и приборы наноэлектроники, квантовая и оптическая электроника.




Нанотехнологии в электронике : [монография / Н.И. Боргардт и др.] ; под ред. Ю.А. Чаплыгина. - Юбил. изд. - М. : Техносфера, 2005.- 448 с.

В коллективной монографии представлен комплекс исследований, который позволяет уже сейчас применять их результаты в актуальных прикладных разработках. Практическое применение принципов нанотехнологии демонстрируется на примерах создания оптических волокон с фотонно-кристаллической структурой, интегральных волноводов на основе субмикронных брэгговских решеток, нелинейно-оптических устройств преобразования частоты оптического излучения, формирования наноразмерных структур на основе высокотемпературных сверхпроводников, реализации датчиков магнитного поля и ИК-излучения, линейных измерений в нанометровом диапазоне.



Авдулов, А. Н. Программа подготовки кадров для наноэлектроники : сводный реферат / А. Н. Авдулов // Социальные и гуманитарные науки. Отечественная и зарубежная литература. Сер. 8. Науковедение: РЖ / РАН. ИНИОН. Центр научно-информационных исследований по науке, образованию и технологиям. - 2009. - № 1. - С. 127-12.

В штате Техас (США) по инициативе нескольких организаций, связанных с микроэлектроникой, поддержанной администрацией штата, с 2008 г. организована программа подготовки специалистов для работы в области наноэлектроники.

Афонин, С. М. Гармоническая линеаризация гистерезисных характеристик пьезоактюатора нано- и микроперемещений / С. М. Афонин ; Московский государственный институт электронной техники // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 3. - С. 49-54.

Исследованы гистерезисные характеристики деформации пъезоактюатора для нано- и микроперемещений, приведены экспериментальные и теоретические гистерезисные характеристики с основными и частными циклами. Получены коэффициенты гармонической линеаризации гистерезисной характеристики пъезоактюатора.

Красников, Г. Я. Наноэлектроника: состояние, проблемы и перспективы развития / Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев // Нано-и микросистемная техника. - 2009. - № 1. - С. 2-5.

Приведены главные проблемы современной наноэлектроники и указаны пути их решения. Даны основные понятия наноматериалов и приборов наноэлектроники.

Мустафаев, Г. А. Разработка процесса формирования глубокой изоляции структур кремний на изоляторе / Г. А. Мустафаев, А. Г. Мустафаев // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. - С. 30-32.

Рассмотрены вопросы глубокого анизотропного травления структур кремний на изоляторе. Приведены параметры процесса формирования канавок анизотропным травлением в плазмохимическом реакторе при НЧ смещении на подложку.

Поляков, В. В. Метод компенсации паразитной емкости в сканирующей емкостной микроскопии / В. В. Поляков // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 9. - С. 6-10.

Предложены зондовый датчик специальной конструкции и оригинальный метод компенсации паразитной емкости для 2D-характеризации профилей легирования полупроводниковых структур с помощью методики сканирующей емкостной микроскопии (СЕМ). Разработано соответствующее устройство, реализующее методику СЕМ. Представлены результаты, демонстрирующие преимущества использования метода компенсации в СЕМ и высокое пространственное разрешение методики.

Powering Nanorobots = Как двигать нанороботы // Scientific American. - 2009. - № 5. - С. 60-65 : ил.

Как микроскопические роботы двигаются при помощи каталитических реакций? На примере биологических моторов живых клеток ученые учатся заряжать микро и наноавтоматы каталитическими реакциями.

Лозовский, Владимир Николаевич. Нанотехнология в электронике : введение в специальность : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210601 – «Нанотехнология в электронике» / В. Н. Лозовский, Г. С. Константинова, С. В. Лозовский. - [2-е изд., испр.]. - Санкт-Петербург : Лань, 2008. - 327 с. : ил.

В учебном пособии рассматривается система современного высшего технического образования, особенности обучения в вузе, фундаментальные основы инженерной деятельности. Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектронике на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего развития. Книга предназначена для преподавателей, аспирантов и студентов вузов.  


Нано-и микросистемная техника. От исследований к разработкам : сб. ст.: [монография] / под ред. П. П. Мальцева ; ред. П. П. Мальцев. - Москва : Техносфера, 2005. - 589 с. : ил.

Ежемесячному междисциплинарному теоретическому и прикладному научно-техническому журналу "Нано- и микросистемная техника" исполнилось пять лет.
Наиболее цитируемые статьи, опубликованные в журнале с ноября 1999 г. по март 2005 г., сгруппированы в соответствии с названием рубрик и позволяют проследить развитие от микро- к наносистемной технике в России. В книге рассмотрены общие вопросы, технологии формирования наноструктур, методы исследования наноструктур, метрологическое обеспечение, основы технологии, моделирование и конструирование компонентов нано- и микросистемной техники, перспективы их применения. Монография представляет интерес для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микро- и нанотехнологии, микро- и наноситемной техники.

Панфилов Ю. В. (д-р техн. наук). Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Ю. В. Панфилов // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. - С. 2-4. - (Нанотехнологии и зондовая микроскопия).

Представлен аналитический обзор материалов конгресса «Нанотех - Северная Европа 2008», основными темами которого были энергетика, электроника, строительство, безопасность и инвестиции. Показаны наиболее интересные результаты современных исследований в области нанотехнологии, представленные на выставке и научно-технической конференции. Сделаны выводы о состоянии коммерциализации результатов разработок и исследований в области нанотехнологии.
 

 


Подконтрольная молекула // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 10. - С. 52. - (Новости нанотехнологий).

Сингапурские ученые научились управлять наномеханизмом.
 

Новости нанотехнологий // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 9. - С. 53-54.

Создан многоволновой рентгеновский рефлектометр для диагностики наноструктур. Созданы перспективные высокостехиометрические оксиды для наноэлектроники.
 

 
Раткин, Л. С.  Новые разработки Российской академии наук в сфере нанотехнологий / Л. С. Раткин // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 4. - С. 2-4. - (Нанотехнологии и зондовая микроскопия). - Библиогр.: с. 4 (3 назв.).


В 2009 году РАН провела ряд научных сессий, на которых рассматривались новые проекты и перспективные разработки РАН в сфере нанотехнологий. Особое внимание уделялось теоретическим и практическим аспектам проектирования наноиндустриальной продукции и вопросам взаимодействия академической и вузовской науки.

 

Агеев, Олег Алексеевич. Формирование наноразмерных структур на кремниевой подложке методом фокусированных ионных пучков / О. А. Агеев, А. С. Коломийцев, Б. Г. Коноплев. // Известия вузов. Электроника. - 2011. - № 1. - С. 29-34 : рис. - (Нанотехнология). - Библиогр.: с. 34 (6 назв.).

Представлены результаты экспериментальных исследований режимов формирования наноразмерных структур на кремниевой подложке методом фокусированных ионных пучков.

 

Алексеев, Алексей. Комплексные инфраструктурные нанотехнологические платформы в России / А. Алексеев // Наноиндустрия. - 2011. - № 6. - С. 8 : ил.: 1 фото.

Возможность быстрого научно-технического развития России и ускоренное преодоление ею зависимости от экспорта сырья многие специалисты связывают прежде всего с развитием нанотехнологий.

 

Голишников, Александр Анатольевич. Формирование наноразмерных структур методом плазменного травления / А. А. Голишников, М. Г. Путря, Е. Н. Рыбачек // Известия вузов. Электроника. - 2011. - № 1. - С. 35-39 : рис.

Разработан и оптимизирован процесс изотропного плазменного травления поликремния для формирования наноструктур. Получены зависимости технологических характеристик процесса изотропного плазменного травления поликремния от его операционных параметров.

 

Измерение параметров нанометровых пленок оптическими и радиоволновыми методами / Д. А. Усанов [и др.] // Известия вузов. Электроника. - 2010. - № 3. - С. 44-50 : рис. - (Нанотехнология). - Библиогр.: с. 50 (19 назв.)

Показана возможность определения толщины и электрофизических параметров тонких нанометровых диэлектрических и металлических пленок в слоистых структурах по спектрам отражения и прохождения взаимодействующего с ними оптического и микроволнового излучения.

Сапков, И. В. Нанотехнология для наноэлектроники: формирование нанозазора в металлическом нанопроводе сфокусированным ионным пучком / И. В. Сапков, В. В. Колесов, Е. С. Солдатов // Радиотехника. - 2011. - № 10. - С. 28-35. - (Информационные технологии, радиотехнические цепи и элементная база).

Разработан способ формирования нанозазора с использованием сфокусированного ионного пучка для создания молекулярных туннельных наноструктур. Показано, что использование сфокусированного ионного пучка позволяет получать необходимые геометрические параметры наноэлектродов, приемлемые для дальнейшего применения в планарной технологии по формированию системы «нависающих» электродов в туннельных наноструктурах.
 

Стандартизированное производство гетероструктур III-N для твердотельной СВЧ-электроники / Д. Красовицкий [и др.]. - // Наноиндустрия. - 2011. - № 5. - С. 14-16 : ил.: 4 рис. - (Промышленные нанотехнологии). - Библиогр.: с. 16 (3 назв. ). - Окончание. Начало: № 4, 2011.

Для получения двумерного электронного газа (ДЭС) с каналом GaN, имеющим двойное электронное ограничение и электрофизические параметры, сравнимые со структурой с «толстым» слоем GaN, необходимо создание оптимальной конструции буферного слоя и определение толщины релаксации GaN для нее.
 

Хохлявин, С. Какими будут стандарты для наноэлектроники? / С. Хохлявин // Наноиндустрия. - 2011. - № 4. - С. 62-65 : ил. : 2 рис., 4 табл. - (Стандартизация). - Библиогр.: с. 65 (6 назв.).

Нанотехнологии для электроники - это массовое производство приборов и интегральных схем с минимальными размерами элементов от 100 до 1 нм, что позволяет изготавливать современные высокоэффективные устройства при значительной экономии средств.
 

Нанослои полипиромеллитимидных ориентантов жидких кристаллов для устройств органической электроноки / Е. С. Кузьменко [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 1-2. - С. 112-116.

Исследована структура, термодинамические и оптические свойства полипиромеллитимидных нанослоев толщиной 8-23 нм, полученных на поверхности полупроводника путем нанесения на центрифуге из растворов преполимеров, и их последующей имидизации при температурах до 453 К. Обнаружено, что с уменьшением толщины нанослоев температура и время их имидизации резко понижаются. Показано, что слои полиимида толщиной менее 10 нм на поверхности полупроводника являются не сплошными, а самоорганизующимися разрывными покрытиями с характерными размерами полимерных островков в плоскости подложки порядка сотен нанометров. Доказана возможность использования указанных сплошных и разрывных нанослоев поверхности полупроводника в качестве ориентантов для жидких кристаллов, используемых при изготовлении гибких дисплеев.

Материалы фазовой памяти на основе сложных халькогенидов и их применение в устройствах оперативной памяти / С. А. Козюхин [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 3-4. - С. 73-81.

Рассмотрены халькогенидные сплавы системы Ge-Sb-Te с точки зрения их использования в устройствах энергонезависимой фазовой памяти произвольного доступа. Проведен анализ физико-химических свойств кристаллических соединений и аморфных пленок на их основе.

Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника». - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний. - 2010.

Ч. 1 / А. А. Раскин, В. К. Прокофьева. - 2010. - 163, [1] с. : ил. - Библиогр. в конце кн.

В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.

Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника». - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний. - 2010.

Ч. 2 / В. М. Рощин, М. В. Силибин. - 2010. - 179, [1] с. : ил. - Библиогр. в конце кн. (8 назв.).

Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] : в 2 т. / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний. - 2010. - (Нанотехнологии).


Т. 1 : Чистяков, Юрий Дмитриевич. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 386-389 (80 назв.).

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.

В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] : в 2 т. / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний. - 2010. - (Нанотехнологии).

Т. 2 : Технологические аспекты / [М. В. Акуленок и др.]. - 2010. - 252 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 243-248 (110 назв.)

Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологии микро-и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

Вычислительные наноструктуры : учебное пособие : [в 2 ч. / Г. М. Алакоз и др.] ; под ред. Г. М. Алакоза. - Москва : Интернет-Университет Информационных Технологий ; Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний. - 2010. - (Основы информационных технологий).

[Ч.] 1 : Задачи, модели, структуры. - 2010. - 487 с. : ил. - Библиогр.: с. 470-487.

В книге раскрыт фундаментальный характер проблематики сковзного системного проектирования высокоотвественных технотронных комплексов двойного назначения, функционирование которых невозможно без удовлетворения требований критических задач, превышающих не менее, чем на порядок, возможности существующих аппаратных платформ.
 
Проанализированы потенциальные возможности «нечисленной» нейрокибернетики и структурно-параметрического метода хранения и преобразования информации в супрамолекулярной и нанометровой вычислительной технике.
 
Книга рассчитана на научных работников, инженеров и менеджеров, работающих над созданием технотронных комплексов, определяющих облик высоких технологий XXI века. Она может быть полезной студентам различных специальностей для углубленного изучения методов и средств создания информационных технологий.

Вычислительные наноструктуры : учебное пособие : [в 2 ч. / Г. М. Алакоз и др.] ; под ред. Г. М. Алакоза. - Москва : Интернет-Университет Информационных Технологий ; Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний. - 2010. - (Основы информационных технологий).
[Ч.] 2 : Программно-аппаратные платформы. - 2010. - 399 с. : ил. - Библиогр.: с. 383-399.
 
В книге обобщен опыт создания и применения отечественных бит-потоковых технологий, для распространения которых в области супрамолекулярных и нано-метровых вычислителей достаточно заменить инициализацию инструкций инструктированным синтезом реализующих их устройств. Раскрыты все этапы и поддерживающие их инструментальные платформы микропрограммного конструирования алгоритмически ориентированных сверхпараллельных битпотоковых субпроцессоров. Продемонстрированы решения, обеспечивающие высокую живучесть бит-потоковых субпроцессоров. Книга рассчитана на научных работников, инженеров и менеджеров, работающих над созданием технотронных комплексов, определяющих облик высоких технологий XXI века. Она может быть полезной студентам различных специальностей для углубленного изучения методов и средств создания информационных технологий.

Елисеев, А. А. Функциональные наноматериалы : учебное пособие для студентов старших курсов, обучающихся по специальности 020101 (011000) - Химия / А. А. Елисеев, А. В. Лукашин ; под ред. Ю. Д. Третьякова. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2010 (Чебоксары). - 452 с. : ил., фот., схем., портр. - Библиогр. в конце гл.

В настоящей книге рассматриваются важ-нейшие особенности функциональных нано-материалов, включая их структуру, физические свойства, методы син-теза и исследования, описываются примеры использования нанома-териалов для создания наноэлектромеханических систем, разнообразных устройств нано- и молекулярной электроники, а также магнитных носителей информации.

Книга является одним из немногих учебных пособий, предназначенных для фундаментальной междисциплинарной подготовки в области нанотехнологии и наноматериалов, включая студентов, аспирантов и научных сотрудников классических, технических и технологических университетов, вовлеченных в решение наиболее актуальных нанотехнологических проблем. Рекомендовано УМО по классическому университетскому образованию в качестве пособия для студентов старших курсов, обучающихся по специальности 020101 (011000) - Химия.